進口激光干涉儀具有測量速度快、精度高的優點，是校準數控機床、坐標測量機和其他定位設備精度和線性指標的常用標準設備，掌握激光干涉儀的使用技術，使測量工作倍增。

 在激光干涉線性測量中，與x、y軸準直相比，z軸測量中激光光路的準直更加困難。特別是在z軸距長的情況下，為了保證激光束在反射鏡反射后返回激先探測器的強度滿足測量對光強的要求，準直激光光路通常需要很長時間。

 軸光路快速準直方法具體如下：Z軸位于低端，利用激光外殼中間的瞄準槽，將分光鏡放在Z軸上，向左、向左、向左移動，觀察激光光路，確保激光轉向后與Z軸大致平行，向左、向右移動，使之與Z軸平行。

 進口激光干涉儀初步調節后，固定分光鏡，安裝在分光鏡上，通過整體調節精確瞄準光靶后，取下分光鏡光靶，使Z軸上升，觀察激光在反光鏡光靶上的偏差，同時通過整體調節使激光對準目標，再進行整體調節。

選擇輔助工具。

雖然進口激光干涉儀的安裝部件相對齊全，但在實際使用過程中需要額外配置一些輔助工具:

1.低高度云臺架的開發。

一些機床工作臺的高度基本上與地面平行，因此在測量Z軸時，如果將激光放置在地面上的原始三角架和云臺面上，由于三角架本身的高度，測量范圍肯定會丟失。

2.選擇磁基。

磁性表座是激光干涉儀常用的輔助工具，選擇時要注意，表座工作面必須有螺孔與安裝鏡組安裝桿配合，將主磁吸面位于底部和側面的磁吸面分別選擇兩種(實驗室或工廠多采用主磁吸面位于底面的表座)，在測量時，往往側吸的表座更有利于激光干涉儀的安裝。

3.鏡組使用靈活。

該儀器包括線性測量鏡、角度測量鏡、平面度測量組、直線度測量組、垂直度測量鏡、激光準直輔助鏡等。在實際使用中，可以結合一些功能不同的鏡組來滿足測量需求。