根據《雙頻激光干擾儀系統誤差概述》，雙頻激光干擾儀系統誤差大致由儀器誤差、幾何誤差（或安裝誤差）和環境誤差組成。在這三個誤差中，幾何誤差主要與光路調試和光程大小有關，一般從幾十納米到幾百納米；環境誤差幾乎與測試的環境參數（溫度、壓力、濕度等）成正比，通常達到幾十納米到幾微米；儀器誤差主要是指雙頻激光干擾儀器本身的誤差，一般可通過靜態噪聲進行評價。雙頻激光干擾儀器的儀器誤差可控制在2nm以下（3Sigma）。

下圖為四軸干涉儀和五軸干涉儀的測試結果。測試條件如下：

1、安裝四軸干涉儀和五軸干涉儀VC-E減振器上。

2、光路溫度波動控制在0.01℃以下。

3、采用1024細分VME系統分辨率為0.15nm。

4、采樣頻率2KHz，連續取樣5分鐘matlab計算其3sigma值。