光刻機干涉儀的維護和保養

做為一種非常精密的檢測儀器，應在日常使用中對其進行基本維護和保養，盡量保證其測量精度，延長其使用壽命。

注意：

1.儀表應該放在干燥，清潔，無振動的環境中使用。

2.在移動光刻機干涉儀時，為防止導軌變形，應將其托起，再移動。

3.不使用時，儀器光學部分應放置于干凈干燥的器皿中，以防霉變。

4.試著不要去取儀器的反射鏡，分光鏡等，如果要取的話，一定要小心，用科學的方法清洗。

5.傳動件，例如導軌，絲桿，螺母，軸孔等，應該保持良好的密封。因此如有需要，應采用精密儀表。

6.在使用過程中應避免強旋，硬扭等情況，合理調整零件。

7.防止導軌面絲桿刮傷或腐蝕，使之不失油。

日常維護：

1.應妥善放置于干燥、清潔的室內，防止震動，儀表移動時應托起托輪，以防導軌變形。光學零件不用時，應存放于清潔干燥盆中，以防止霉變。反射器、分光鏡一般都是不允許使用的，在需要使用時，要先用備件毛刷仔細撣去灰塵，再用脫脂棉擦拭干凈的棉球，然后滴上乙醇和乙醚的混合物。

2.傳動部件應具有良好的耐久性。特別是導軌、絲桿、螺母及軸孔部分，均采用精密油表。

3.使用時，各調節部位要用力適度，不可強旋、硬拉。

4.導軌面絲桿要防刮、防銹，用完后，要保持不失油。

5.儀器零件經精密調整后，應涂紅漆，不得隨意轉動。