激光干涉儀有哪些類型？

小編將與您分享激光干涉儀的類型，來看看吧！

1.單頻激光干涉儀

  由激光射出的光束經擴束準直后，分光鏡分為固定反射鏡和活動反射鏡兩個通道，以形成分光鏡的干涉條紋。在可動反射鏡運動時，干涉條紋的強度變化是通過接收端的光電轉換元件和電子線路等轉換成電脈沖信號，經過整形、放大，輸入可動反射鏡計算出總脈沖數，再由電子計算機計算出總脈沖數(N為總脈沖數)，計算出可移動鏡的位移L。在采用單頻激光干涉儀時，大氣環境處于穩定狀態，各種空氣湍流將導致直流電壓發生變化，影響測量結果。

2.雙頻激光干涉儀

 雙頻激光干涉儀是一種基于單頻激光干涉的外差干涉測量系統。

 加上約0.03特斯拉軸向磁場，氦霓虹燈激光。受塞曼分裂效應和頻率拖動效應的影響，激光分別產生不同頻率的極化光。用1/4波片將其轉換成兩條互相垂直的偏振光，再由分光鏡分為兩條。之后將整個偏振片變為參考光束，頻率f1-f2。用偏振分光鏡，另一條線分成兩條通道：一條變成只有f1的光束，另一條只有f2。在可動反射鏡移動時，含f2的光束經過可動反射鏡的反射變成包含f2δf的光束，這是多普勒效應在可動反射鏡運動時產生的額外頻率，正的負數代表移動方向(奧地利人C.J.多普勒效應是奧地利人C.J.多普勒效應由奧地利人C.J.多普勒效應提出，它是由奧地利人C.J.多普勒提出的。

 這種光束僅從固定鏡上反射，經過偏振片2后合成f1-(f2±δf)的測量光束。通過各自的光電轉換元件、放大器、整形器，光束和上述參考光束減少進入減法器，而輸出僅±δf。利用計算機對可逆計數器進行等效變換(乘以1/2激光波長)，可獲得可動反射鏡的位移。雙頻激光干涉儀一般采用頻率變化來測量位移，這種位移信息在f1和f2的頻差上表現出來，對光強變化引起的DC電平變化不敏感，因此具有較強的抗干擾能力。常用于校驗長機、三坐標測量機、光刻機、加工中心等校驗機的坐標精度，也可作長機、高精度三坐標測量機等測量系統。并可通過附件測量高精度、直線度、平面度和小角度。